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doc 薄膜材料与技术》复习资料总结
【讲义总结】1.真空区域的划分:粗真空(1x105~1x102Pa)。在粗真空下,气态空间近似为大气状态,分子以热运动为主,分子间碰撞十分频繁;低真空(1x102~1x10-1)。低真空时气体分子的流
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向豆丁求助:有没有薄膜热封?

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